壓電物鏡定位器是采用PZT壓電陶瓷驅動(dòng),因此具有PZT壓電陶瓷的很多優(yōu)點(diǎn),它的響應速度快,在毫秒量級,并且具有納米級的分辨率,可提供納米級高精度的物鏡定位驅動(dòng),從而達到納米精度的聚焦。同時(shí),采用內置閉環(huán)反饋傳感器,又解決了PZT壓電陶瓷的遲滯與蠕變的問(wèn)題。
壓電物鏡定位器既吸收了壓電陶瓷的優(yōu)點(diǎn),同時(shí)去除了壓電陶瓷的弊端,為高分辨率顯微成像、激光聚焦等應用提供了便捷而有力的工具。此外,P73.Z1000系列壓電物鏡定位器的安裝非常便捷,采用螺紋安裝,螺紋適配標準物鏡,也可選擇定制安裝螺紋。
用過(guò)壓電產(chǎn)品的用戶(hù),一般都了解壓電產(chǎn)品的位移,一般在幾微米到幾百微米不等。但為了實(shí)現更大范圍的Z向聚焦,芯明天設計了P73.Z1000系列壓電物鏡定位器,該物鏡定位器具有1mm(=1000μm)的運動(dòng)范圍,不僅滿(mǎn)足了大范圍調焦應用,而且提供了納米級的定位精度。
可見(jiàn)光的波長(cháng)一般在390nm至780nm范圍,而光學(xué)顯微技術(shù)利用的是物鏡對光的聚焦,以達到盡可能高的亮度范圍,從而獲取盡可能清晰的圖像。高分辨率顯微成像的景深一般為微米級或亞微米級,這在定位到景深范圍內后,Z向調焦的過(guò)程將需要更高的定位精度,尤其對成像精度要求非常高的應用,例如多光子熒光顯微鏡、光學(xué)相干斷層成像術(shù)、晶圓檢測等,都要求納米級定位精度。