應用于微振動(dòng)模擬的XD500系列壓電偏擺臺

在各種光學(xué)應用中，隨著(zhù)通光口徑的不斷增大和分辨率的不斷提高，或應用環(huán)境的變化，各類(lèi)微振動(dòng)都會(huì )對光學(xué)系統產(chǎn)生不利的影響，例如會(huì )極大地降低成像或光通信的質(zhì)量。因此，就需要針對這種微振動(dòng)設計出相應的隔振系統。

為了能夠設計出更適合光學(xué)載荷的隔振系統，就需要對微振動(dòng)進(jìn)行充分的了解與研究，以及對隔振的性能進(jìn)行實(shí)際的、充分的試驗驗證。因此，一種高可靠性、高精度的微振動(dòng)模擬器將是隔振系統設計過(guò)程中必要的工具之一。并且，因光學(xué)載荷整個(gè)系統的重量較大，該微振動(dòng)模擬器的承載能力一定要強！

針對微振動(dòng)模擬或擾動(dòng)模擬應用環(huán)境的特點(diǎn)，芯明天以自身先進(jìn)的壓電納米定位與控制技術(shù)，研發(fā)、生產(chǎn)了多款振動(dòng)模擬用壓電偏擺臺。并且，每種型號都具有高精度、大承載的特點(diǎn)，*可滿(mǎn)足振動(dòng)模擬的各項要求。XD500系列壓電偏擺臺就是其中之一。

XD500系列壓電偏擺臺為θx、θy二維偏轉的壓電偏擺臺，它的承載能力高達10kg，偏轉角度為±0.29mrad，分辨率可達0.1μrad。XD500系列是專(zhuān)為大負載偏轉應用而設計，它非常適于大負載偏擺運動(dòng)實(shí)驗，如空間擾動(dòng)模擬、振動(dòng)模擬等。

XD500系列壓電偏擺臺是基于多壓電陶瓷結構設計而成，每軸采用多個(gè)壓電陶瓷結構，以推拉模式、差分驅動(dòng)形成偏轉運動(dòng)。XD500系列壓電偏擺臺，整體采用柔性鉸鏈結構、具有無(wú)機械摩擦、響應速度快、重復定位精度高等優(yōu)點(diǎn)。

特點(diǎn)

• θx、θy二維偏轉

• 承載能力達10kg

• 適于大負載偏轉應用

• 可選配閉環(huán)反饋傳感器

應用

• 微振動(dòng)模擬器

• 光束偏轉/掃描

• 重型鏡持偏轉

• 空間擾動(dòng)模擬等

偏轉角度與驅動(dòng)電壓曲線(xiàn)

技術(shù)參數

型號：XD500.T0S/K-B1

運動(dòng)自由度：θx、θy

驅動(dòng)控制：3路驅動(dòng)

標稱(chēng)偏轉角度（0~120V）：0.46mrad/軸

偏轉角度（0~150V）：0.58mrad/軸

傳感器類(lèi)型：SGS

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：0.2/0.1μrad

閉環(huán)重復定位精度：0.1%F.S.

推/拉力：200/20N

空載諧振頻率：1000Hz

帶載10kg諧振頻率：230Hz

承載能力：10kg

靜電容量：21.5μF/軸

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：5kg