快速刀具定位器是專(zhuān)為車(chē)削而設計的快速刀具微進(jìn)給平臺,它采用直驅式驅動(dòng)結構,承載力大、頻率高,且采用閉環(huán)傳感器,具有納米級定位精度??蛇x配集成SGS應變傳感器,以消除PZT壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性,使得輸入控制電壓與輸出位移成線(xiàn)性關(guān)系,傳感器輸出0~10V電壓信號。
快速刀具定位器有多種閉環(huán)方式可選,如電容式、電感式、應變式閉環(huán),也可采用外部閉環(huán)的控制方式。閉環(huán)方式的不同影響著(zhù)快速刀具定位臺的控制精度、工作頻率及成本等因素。
這類(lèi)元件結構復雜,并且加工精度要求很高,用傳統的加工方法已很難滿(mǎn)足加工需求。隨著(zhù)技術(shù)的不斷進(jìn)步,涌現出很多種加工方法,能夠加工出滿(mǎn)足需求的微結構表面,如光刻蝕加工、微細磨削加工、激光加工、快刀伺服等。這些方法都有各自的優(yōu)缺點(diǎn),其中快刀伺服是比較經(jīng)典的加工技術(shù),是微結構車(chē)削加工研究的熱點(diǎn)之一。
快刀伺服加工是指在車(chē)削加工過(guò)程中,借助與安裝在Z軸上的快刀伺服微進(jìn)給機構驅動(dòng)刀具作高頻響、小幅值的軸向快速進(jìn)給運動(dòng),并與高精度的回軸和徑向進(jìn)給相配合,完成這個(gè)車(chē)削加工過(guò)程。與Z軸一般幾十赫茲的進(jìn)刀頻率相比,快刀伺服微進(jìn)給機構的進(jìn)刀頻率可以達到幾千赫茲甚至更高,從而大大提高了加工效率。
快刀伺服微進(jìn)給機構是快刀伺服加工系統中非常重要的部件,作為高速高精度位移輸出機構,其性能的好壞對快刀伺服加工的微結構表面質(zhì)量有直接影響。芯明天科技設計研發(fā)的P92、P93系列壓電快速刀具定位器,具有承載力大、響應速度快、頻率范圍寬、納米級精度的優(yōu)點(diǎn),是快刀伺服的常選產(chǎn)品。