壓電陶瓷在半導體技術(shù)領(lǐng)域的應用
在半導體領(lǐng)域，我公司提供各種基于壓電陶瓷的解決方案，包括用于減震的長(cháng)壽命壓電元件，用于定位的高性能大行程納米定位陶瓷。其他的精密運動(dòng)產(chǎn)品還包括用于快速光束穩定/角度校正的壓電偏擺平臺，用于納米測量應用的壓電柔性納米臺，用于掩模對準的納米對準系統，用于水平和垂直定位的新型混合大行程納米定位臺。
應用 | 解決方案 | 典型產(chǎn)品 | 產(chǎn)品展示 |
納米壓印 光盤(pán)測試 掩模與晶圓對準 物鏡精密定位 光刻 | 多軸壓電系統 納米定位臺 壓電促動(dòng)器 納米聚焦系統 | 定制六軸精密壓電定位臺 P16壓電定位掃描臺 P76/P72物鏡壓電定位器 |
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光學(xué)干涉 | 閉環(huán)壓電促動(dòng)器與柔性導向系統 | 定制大行程物鏡掃描器 XP-63X高精度納米定位器 |  |
電纜接合 | 壓電彎片促動(dòng)器 | 壓電彎曲片 |
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光學(xué)測試/六軸定位 | 6軸并聯(lián)機構微定位系統 | N90 Hexapod 6軸定位系統 定制大行程Hexapod系統 |
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大行程納米對準系統 | 鉸鏈放大壓電促動(dòng)器 1-6軸壓電柔性定位臺 | P11.XYZ壓電定位臺 大推力壓電促動(dòng)器 |
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光束掃描與穩定 光學(xué)路徑校正 | 快速壓電偏擺鏡系統 | P34 微型壓電偏擺鏡 P33 高動(dòng)態(tài)壓電偏擺鏡 |
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主動(dòng)減震 | 壓電堆促動(dòng)器與陶瓷 | 大推力壓電促動(dòng)器 高壓壓電陶瓷 薄片型壓電傳感器/致動(dòng)器 |
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縱向晶圓定位 | 壓電Z/Tip/Tilt偏擺臺 | P54壓電Z向及Z/Tip/Tilt定位平臺 定制六軸精密壓電納米定位臺 |
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