什么是宏微復合式壓電移相器？

壓電式移相器介紹

壓電式移相器（也稱(chēng)壓電陶瓷移相器），是基于壓電陶瓷設計并通過(guò)驅動(dòng)壓電陶瓷產(chǎn)生微運動(dòng)來(lái)實(shí)現移相功能的，在電壓信號的控制下產(chǎn)生納米級步進(jìn)運動(dòng)，完成干涉中要求的微小移相運動(dòng)。

移相干涉技術(shù)(phase shifting interferometry)是一種利用干涉圖對光學(xué)元件進(jìn)行測量的技術(shù)，其中核心部件為移相器，一般常用微位移運動(dòng)器件驅動(dòng)實(shí)現。壓電式移相器，以其優(yōu)良的測試精度而被廣泛用于各種現代干涉儀器中，并被廣泛地應用于各個(gè)領(lǐng)域。

壓電式移相器是由壓電控制器所驅動(dòng)，它所能移動(dòng)的位移與壓電控制器施加于它的電壓信號有關(guān)，并與其大小成線(xiàn)性關(guān)系。壓電式移相器具有體積小巧、高精度、納米級高分辨率、響應速度快、高剛度、控制簡(jiǎn)單且不受磁場(chǎng)影響等優(yōu)點(diǎn)。

移相器原理作用

壓電式移相器的步進(jìn)可達納米量級，用于驅動(dòng)鏡片做平行運動(dòng),改變參考光的光程,從而在物光和參考光之間引入相移量。

芯明天壓電移相器介紹

芯明天ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器的內部是由壓電陶瓷驅動(dòng)，它由直流電壓信號來(lái)控制，在150V電壓下產(chǎn)生的位移約0.7µm，可用于快速步進(jìn)移相應用。壓電陶瓷移相器的驅動(dòng)電壓上限為800V，在此電壓下，產(chǎn)生的位移約3.73µm。

該壓電移相器是專(zhuān)為移相應用而設計，可通過(guò)電壓控制進(jìn)行超快速（µs級）步進(jìn)調節，同時(shí)，可通過(guò)手動(dòng)調節θx、θy兩軸的偏轉角度，角度調節范圍可達±4°。將鏡片調節與移相步進(jìn)結合，使其更方便于像移、干涉測量等應用。

產(chǎn)品特點(diǎn)

•手動(dòng)與壓電調節相結合

•150V電壓驅動(dòng)下，移相行程約0.7µm

•驅動(dòng)電壓上限為800V

•移相行程上限可達3.73µm

•可手動(dòng)調節θx、θy兩軸偏轉角度

•手動(dòng)調節角度范圍為0~±4°/軸

•標準可帶載鏡片直徑35mm，可定制

壓電式移相器設計

芯明天ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器由兩部分組成，壓電陶瓷驅動(dòng)與手調微動(dòng)螺釘。為保證對位移的高分辨率要求，壓電陶瓷移相器采用壓電陶瓷直驅技術(shù)結構，確保陶瓷的高分辨率可以直接輸出，而不受外部機械結構的影響。手調微動(dòng)螺釘則采用高精密螺絲和襯套，保證了手動(dòng)調節的精度。

鏡片結構可調

ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器鏡片固定結構采用可更換設計，可以針對不同應用需求更換鏡片固定結構尺寸，以適合不同鏡片大小的使用。

手動(dòng)微調結構

ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器θx、θy兩軸偏轉，采用手動(dòng)微調螺釘操作，使用方便快捷，調整角度可達0~±4°/軸。

應用領(lǐng)域

芯明天壓電陶瓷移相器可應用于快速納米級步進(jìn)、移相、光路調節、干涉測量、快速步進(jìn)調節等領(lǐng)域。

參數性能

型號：ZT35H80K

運動(dòng)自由度：壓電驅動(dòng)X

手調θx、θy

壓電直線(xiàn)行程：0.7μm@150V

3.73μm@800V

手調θxθy偏轉角度：±4°/軸

空載諧振頻率：47.8kHz

靜電容量：18nF

標準可安裝鏡片直徑：Φ35mm

驅動(dòng)電壓范圍：0~800V

重量：175g

壓電陶瓷的電壓與位移曲線(xiàn)

移相功能主要通過(guò)內部壓電陶瓷實(shí)現，壓電陶瓷電壓位移曲線(xiàn)如下圖：

定制服務(wù)

芯明天可提供各種用于移相、步進(jìn)、干涉、計量等的壓電式移相器，例如超小體積型、帶有通光孔型、大負載型、大口徑式等等，可*根據客戶(hù)實(shí)際應用定制設計。