N31系列直線(xiàn)壓電馬達是芯明天研發(fā)設計、生產(chǎn)及銷(xiāo)售的一款納米級精密運動(dòng)產(chǎn)品。它具有三個(gè)行程范圍可選，分別為25mm、50mm和100mm。可選配高精度光柵增量式編碼器作為傳感器，完成高精度的運動(dòng)定位。
N31系列直線(xiàn)壓電馬達是采用壓電陶瓷驅動(dòng)，利用類(lèi)似人行走的驅動(dòng)原理，將壓電陶瓷的高頻微動(dòng)的微小位移轉換為直線(xiàn)壓電馬達平臺的大行程、高精度運動(dòng)。該系列直線(xiàn)壓電馬達具有大出力、閉環(huán)誤碰后自動(dòng)歸位等優(yōu)點(diǎn)。
為滿(mǎn)足各種應用中XYZ三維大行程、高精度位置調節的需求，芯明天基于N31系列直線(xiàn)壓電馬達專(zhuān)門(mén)設計了一款三維運動(dòng)的大行程、高精度直線(xiàn)壓電馬達。它的外觀(guān)如下圖所示。該XYZ三維直線(xiàn)壓電馬達是基于三臺N31系列直線(xiàn)壓電馬達，XYZ三軸的行程分別為50mm、50mm、100mm。該產(chǎn)品經(jīng)過(guò)實(shí)測XYZ向的精度均在1μm以?xún)?；運動(dòng)速度可達4mm/s以上。測試過(guò)程中，XYZ三維直線(xiàn)壓電馬達每軸的運動(dòng)都是通過(guò)芯明天E71系列壓電伺服控制器進(jìn)行驅動(dòng)的，并通過(guò)配套上位機軟件進(jìn)行控制參數設置。
XYZ三維直線(xiàn)壓電馬達平臺測試中下述測試結果是在0.5kg負載、20.8℃溫度、31%濕度下測得。
從上方參數中可看到，X、Y、Z向的運動(dòng)重復度分別可達0.645μm、0.611μm、0.681μm，可滿(mǎn)足高精度的定位要求。運動(dòng)效果如下方視頻展示。
注：1倍速播放
N31系列一至三維直線(xiàn)壓電馬達，因其高精度，非常適用于半導體測試、晶圓檢測、納米壓印、納米計量、工業(yè)精密定位等領(lǐng)域。
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