精密掃描臺是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)源，結合柔性鉸鏈機構實(shí)現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動(dòng)的壓電平臺，壓電掃描臺中心具有通孔且體積小巧、無(wú)摩擦、分辨率高、響應速度快，配置高精度傳感器，可以實(shí)現納米級分辨率及定位精度且具有可靠性。產(chǎn)品主要應用于透光精密光學(xué)器件的定位與調整、生物顯微與光學(xué)顯微成像系統等。
精密掃描臺由容性負載驅動(dòng)，可產(chǎn)生毫秒級的響應時(shí)間，響應速度非?？?，同時(shí)由于自身的材料特性，使其在使用過(guò)程中不受干擾，能夠實(shí)現性能輸出。
壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)源，結合柔性鉸鏈機構實(shí)現X/Z/XY/XZ/XYZ軸精密運動(dòng)的壓電平臺。運動(dòng)范圍大可達375μm，具有體積小、無(wú)摩擦、響應速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可以實(shí)現納米級分辨率及定位精度且具有可靠性，壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著(zhù)至關(guān)重要的作用。
壓電納米運動(dòng)系統采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有高的導向精度，具有高剛性、高負載、無(wú)磨損、免維護等特點(diǎn)。同時(shí)壓電效應將電能直接轉換為運動(dòng)，在靜態(tài)操作時(shí)，即使在負載情況下，也不會(huì )消耗功率。
壓電掃描臺是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)源，壓電陶瓷是高精度致動(dòng)器，通過(guò)控制電壓的微小變化產(chǎn)生非常小的位移，可達到亞納米級。從適用于小型設備（如紅外熱成像）的小通孔壓電掃描臺到大型設備（如大口徑干涉儀）用的大通孔壓電掃描臺，多種規格型號可選。
