壓電偏轉鏡是以壓電元件作為驅動(dòng)源與外部機構相結合帶動(dòng)鏡片實(shí)現精密偏轉/傾斜運動(dòng)的壓電機械系統。芯明天壓電偏轉鏡包括壓電陶瓷驅動(dòng)精密偏轉鏡以及壓電馬達驅動(dòng)大行程壓電偏轉鏡。

壓電陶瓷驅動(dòng)壓電偏轉鏡

壓電陶瓷驅動(dòng)壓電偏轉鏡內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計，外部機械結構通過(guò)內部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現單軸或多軸角度偏轉運動(dòng)，補償量小，確保偏轉鏡具有的運動(dòng)精度和超高的穩定性，通過(guò)內置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

主要特性：

壓電陶瓷驅動(dòng)壓電偏轉鏡根據運動(dòng)方式包括一維θx二維θx,θy三維θx,θy,Z，運動(dòng)工作方式如下圖所示：

該系列高精密壓電偏轉鏡具有多種尺寸、偏轉范圍、規格型號可選，P31系列壓電偏轉鏡能夠實(shí)現的zui大偏轉范圍達25mrad，P33.T2S壓電偏轉鏡配套芯明天閉環(huán)壓電控制器可以實(shí)現0.5μrad的定位精度。

驅動(dòng)控制方式：

芯明天壓電偏轉鏡可以根據用戶(hù)對負載要求、使用頻率，通信功能、開(kāi)環(huán)/閉環(huán)、體積要求等選擇不同功能的控制器，也可以根據用戶(hù)特定的需求開(kāi)發(fā)定制。

典型應用：

精密壓電偏轉鏡主要應用于光通信、光路調整、光干涉、自適應光學(xué)等領(lǐng)域，芯明天P33系列壓電偏轉系統已經(jīng)成功應用于衛星激光通信實(shí)驗中，高精度的偏轉、快速跟蹤、穩定的控制使其受到國內外科研院所及企業(yè)的青睞。

壓電馬達驅動(dòng)壓電偏轉鏡

壓電馬達驅動(dòng)壓電偏轉鏡，采用壓電馬達驅動(dòng)，內部精密軸承轉動(dòng)導向與外部柔性鉸鏈導向機構相結合實(shí)現大行程高精度精密偏轉。

主要特性： 

壓電馬達驅動(dòng)壓電偏轉鏡為一維θx軸壓電偏轉鏡，中心通孔透光孔徑為9mm、偏轉范圍可達6°（+/-3°）、實(shí)現光學(xué)12°的偏轉，可以選擇不同的控制器實(shí)現1/64步，即zui小步進(jìn)0.3μrad， 速率可達25mrad/s。

驅動(dòng)控制方式：

壓電馬達驅動(dòng)偏轉鏡可以選擇三種不同分辨率的控制器實(shí)現不同的zui小步進(jìn)，主要是通過(guò)軟件進(jìn)行上位機控制，zui小步進(jìn)與步進(jìn)速度可以設置。

典型應用：

壓電馬達驅動(dòng)壓電偏轉鏡已經(jīng)應用于光學(xué)導軌帶動(dòng)分束立方體做精密偏轉運動(dòng)。