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    芯明天壓電控制器可用來(lái)驅動(dòng)什么產(chǎn)品?

    更新時(shí)間: 2018-05-16

    芯明天壓電控制器的原理是模擬PID控制(比例-積分-微分控制),以比例控制、積分控制為主。PID控制器是一個(gè)在工業(yè)控制應用中常見(jiàn)的反饋回路部件,由比例單元P、積分單元I和微分單元D組成。PID控制的基礎是比例控制;積分控制可消除穩態(tài)誤差,但也可能增加超調;微分控制可加快大慣性系統響應速度以及減弱超調趨勢等。

    芯明天控制器的基本原理圖如下,每種產(chǎn)品間會(huì )略有不同。

     

    以下簡(jiǎn)單介紹幾種芯明天壓電控制器的應用案例。

    驅動(dòng)壓電疊堆陶瓷

    壓電疊堆陶瓷為鋯鈦酸鉛(PZT)材料,芯明天提供的疊堆陶瓷一般單支的高度從2mm至92mm可選,堆棧型壓電陶瓷疊堆單支的高度可達200mm。芯明天E53.A系列壓電陶瓷驅動(dòng)電源可用于驅動(dòng)PZT壓電疊堆陶瓷,在E53.A驅動(dòng)下,可使得壓電疊堆陶瓷在高度方向產(chǎn)生1‰~2‰(微米量級)的位移,且使其步進(jìn)的分辨率達皮米量級。

     

     

    驅動(dòng)控制壓電移相器

    壓電移相器是移相干涉儀中非常重要的部件。芯明天壓電控制器可調節壓電移相器驅動(dòng)鏡片的位置,使之做平行直線(xiàn)運動(dòng),改變參考光的光程,從而在物光和參考光之間引入相移量。使用芯明天壓電控制器調節壓電式移相器,具有分辨率高、響應速度快、易于控制、性能穩定等特點(diǎn)。

     

    壓電變形鏡主要用于各種自適應光學(xué)系統之中,它由很多單元組合而成。相同尺寸的壓電變形鏡,單元數越多,可調節的面形越好。芯明天壓電變形鏡控制器的通道數可達百通道,每通道可驅動(dòng)控制壓電變形鏡的一個(gè)單元,zui多可控制單元數達150個(gè),可使得單個(gè)單元的面形變化速度達亞毫秒級、定位的分辨率可達亞微弧度。

    控制微進(jìn)給快速刀具

    在精密和超精密車(chē)削中,尺寸公差的控制關(guān)鍵在于橫向微進(jìn)給裝置的精度。芯明天E01壓電控制器可用于調節壓電式快速微進(jìn)給刀具定位器,且微進(jìn)給運動(dòng)的分辨率可達5nm甚至亞納米級。

     

     

     

    控制物鏡的焦點(diǎn)位置

    例如,在晶圓切割過(guò)程中,需要通過(guò)物鏡對激光進(jìn)行聚焦,芯明天壓電控制器通過(guò)輸出電壓信號,對物鏡的Z向位置進(jìn)行調節,從而對激光聚焦后的焦點(diǎn)進(jìn)行Z向位置調節。

    超聲壓電陶瓷的應用非常廣泛,如超聲清洗、超聲馬達等。芯明天高頻壓電控制器可驅動(dòng)超聲壓電陶瓷,zui大頻率可達24MHZ,輸出電壓可達800V。

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