E73壓電陶瓷控制器是小體積、級聯(lián)式模塊化控制器，該系列控制器由供電/通信模塊與驅動(dòng)/傳感模塊組合而成。它的設計是專(zhuān)為驅動(dòng)容性負載，例如壓電疊堆陶瓷、壓電納米定位臺、壓電傾斜鏡、壓電偏擺/旋轉臺等。它的輸出電壓為0~120V，放大器帶寬為1kHz，具有模擬與數字兩種控制方式，且驅動(dòng)通道數在1~30通道內自由選擇。E73適用于進(jìn)行傾斜、俯仰、偏擺/差分驅動(dòng)等高可靠系統的驅動(dòng)控制，例如壓電傾斜鏡、壓電變形鏡等。

E73級聯(lián)式壓電控制器的組成

E73.PD供電/通信模塊

E73.PD供電/通信模塊如下圖所示，它為驅動(dòng)/傳感模塊提供供電電源，同時(shí)，它具有RS-422及USB上位機通信接口，RS-422接口位于前面板，USB接口位于后面板，可通過(guò)它們進(jìn)行上位機通信控制，它的處理器為32位單片機，72MHz。通過(guò)E73壓電控制器的軟件可進(jìn)行輸出電壓、輸出位移、波形、設置參數、采集電壓與位移等控制。

E73.S3DL驅動(dòng)/傳感模塊

E73.S3DL驅動(dòng)/傳感模塊的功能是將模擬輸入信號放大、輸出控制電壓信號，并實(shí)時(shí)采集壓電位移產(chǎn)品的傳感器信號，通過(guò)內部的算法電路完成伺服控制等。如下圖所示。

可集成模塊數量及輸出通道數

E73級聯(lián)式控制器需要具有一個(gè)E73.PD供電/通信模塊，而E73.S3DL驅動(dòng)/傳感模塊的數量是可根據客戶(hù)的使用要求自由選擇的，至少選擇一個(gè)，zui多可選擇10個(gè)。

如下圖所示，為E73.S3三通道壓電控制器，由1個(gè)E73.PD供電通信模塊及1個(gè)E73.S3DL驅動(dòng)傳感模塊組成。

E73壓電陶瓷控制器的一個(gè)E73.PD供電通信模塊可以級聯(lián)zui多達十個(gè)E73.S3DL驅動(dòng)傳感模塊，以達到30個(gè)通道的驅動(dòng)控制。

如下圖所示，為E73.S30三十通道壓電控制器，由1個(gè)E73.PD供電通信模塊及10個(gè)E73.S3DL驅動(dòng)傳感模塊組成。

模擬與數字控制

 E73級聯(lián)式壓電陶瓷控制器，具有兩種通信接口，實(shí)現與上位機實(shí)時(shí)通信，支持上位機軟件二次開(kāi)發(fā)。該設備同時(shí)還具有模擬信號的位置控制輸入端口，便于與其他數字及模擬控制信號集成。操作模式的變換也可通過(guò)外部接口進(jìn)行控制。上位機通信軟件可設置電壓與位移等參數。

E73壓電控制器原理圖

E73壓電控制器頻率與負載曲線(xiàn)

E73壓電控制器技術(shù)參數