P18系列是基于壓電驅動(dòng)的納米定位平臺，它的特點(diǎn)是體積緊湊、外形超薄，對于X向200微米運動(dòng)版本的尺寸僅為100 x 100 x 15mm，X向zui大行程可達1.1mm，對應外形尺寸為100 x 100 x 44mm。中心具有直徑35mm的通孔，非常適于顯微或掃描應用中的樣品定位。

P18壓電納米定位臺內部由高性能壓電疊堆陶瓷驅動(dòng)，具有響應速度快、分辨率高、承載力大等特點(diǎn)，zui大承載達3.5kg，空載諧振頻率達600Hz，配套芯明天大功率控制器響應時(shí)間zui高可達5ms，是精密加工、半導體制造、掃描顯微等應用的理想選擇，也適用于一至三維的精密掃描定位應用。

P18系列產(chǎn)品特點(diǎn)

◎ X、XY、XYZ多種運動(dòng)方向可選；

◎ 體積緊湊：長(cháng)100×寬100mm；

◎ 多種標稱(chēng)行程可選：

    280μm、370(或±185)μm、740μm、1110μm；

◎ 中心通孔尺寸：Ø35mm；

◎ 納米級定位精度；

◎ 高性能壓電促動(dòng)器驅動(dòng)，使用壽命長(cháng)；

頻率負載曲線(xiàn)及優(yōu)異的導向設計

P18頻率負載曲線(xiàn)示意圖：

優(yōu)異的導向設計：

通過(guò)有限元分析的撓曲鉸鏈機構用于緊湊的壓電平臺。因其柔性鉸鏈結構為*自由、無(wú)摩擦的，無(wú)論多么微小的距離，撓曲鉸鏈都能夠達到*的運動(dòng)精度。同時(shí)，也將運動(dòng)方向的剛度進(jìn)行了優(yōu)化。

伺服控制定位，納米級分辨率

高分辨率、高帶寬的應變傳感器（SGS）裝配于驅動(dòng)機構的zui恰當的位置，用以直接測量平臺移動(dòng)部件的位移。SGS傳感器確保了zui適宜的定位穩定性，精度在納米范圍，且響應速度快。

開(kāi)環(huán)版本對于要求快速響應及非常高分辨率但定位不重要的應用是非常理想的。

開(kāi)環(huán)版本也適用于使用外部直線(xiàn)定位傳感器的應用，外部傳感器如干涉儀，PSD（位置敏感傳感器），CCD片/成像處理系統，或操作員的眼手配合調節。

P18.X一維開(kāi)環(huán)曲線(xiàn)

P18系列產(chǎn)品運動(dòng)方式

P18系列壓電納米定位臺可產(chǎn)生一維X向運動(dòng)，也可組合形成XY二維或XYZ三維運動(dòng)。位移行程從0μm至1.1mm范圍可選。

P18.X一維運動(dòng)方式

P18高性能壓電促動(dòng)器保證使用壽命長(cháng)

通過(guò)高性能多層壓電促動(dòng)器可保證zui高的可靠性。芯明天促動(dòng)器外部的絕緣性使其可抵御環(huán)境的濕度及漏流風(fēng)險?？煽啃约皦勖h優(yōu)于傳感促動(dòng)器。

P18系列1-3維掃描臺，多種行程可選

P18系列壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結構形式，可以滿(mǎn)足1~3維大行程掃描或定位的應用需求。

Δ  一維X向運動(dòng)可選行程：

      280μm、370（或±185）μm、740μm、1110μm；

Δ  二維XY向運動(dòng)可選行程：

      280μm、370（或±185）μm；

Δ  三維XYZ向運動(dòng)行程：

      280μm；

典型應用/Applications

P18系統產(chǎn)品部分參數

P18部分參數（尾綴S:閉環(huán)；尾綴K：開(kāi)環(huán)）

應用實(shí)例-納米光刻

在納米光刻實(shí)驗中需要對鏡片進(jìn)行高速微納米級的精密移動(dòng)，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩定性等優(yōu)點(diǎn)應用于納米光刻，匹配芯明天E01.D3壓電控制器使用，可達到較好的位移、精度等性能。

推薦配套驅動(dòng)器與控制器

E01.D3（尺寸：280×170×360mm）

E70（尺寸：240×60×140mm）

E72.S3（尺寸：116×77.5×100mm）