P33壓電偏轉鏡是具有快速響應且體積緊湊等特點(diǎn)的偏轉平臺，提供頂端面的高精度角度運動(dòng)，與其他執行器相比，柔性鉸鏈導向的壓電偏轉平臺可提供更高的加速度，使階躍響應時(shí)間在亞毫秒范圍。閉環(huán)與開(kāi)環(huán)版本具有6個(gè)不同的偏轉范圍，大可達27mrad的光束偏轉。

特性

•  θx, θy 二維偏轉

•  大偏轉范圍13.5mrad

•  亞毫秒響應時(shí)間

•  重復定位精度可達納米級

•  溫度穩定性高

θx、θy二維偏轉

典型應用

•  圖像處理與穩定                 •  隔行掃描、抖動(dòng)

•  激光掃描                            •  光束偏轉

•  光學(xué)濾波器/開(kāi)關(guān)                •  激光微加工

•  自適應光學(xué)、穩像              •  干涉

高動(dòng)態(tài)、閉環(huán)版本精度高

P33系列壓電偏轉鏡采用了無(wú)摩擦、柔性鉸鏈導向結構設計，絕緣壓電陶瓷驅動(dòng)，實(shí)現偏轉范圍13.5mrad，提供更高的加速度，快速響應達毫秒量級或更快。

在機械結構的合適位置采用測量的應變傳感器來(lái)得到高穩定性及定位精度，他們提供了較高的帶寬并向控制器發(fā)送定位反饋信號，傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從而確保的穩定性。

大可帶載鏡片直徑40mm，產(chǎn)品已成功應用于衛星激光通信等領(lǐng)域。

P33系列壓電偏轉鏡的固定方式分底部固定及腰部固定。

頻率負載曲線(xiàn)

應用實(shí)例

激光通信技術(shù)由于其通信容量大、傳輸距離遠、保密性好、抗干擾能力強等特點(diǎn)受到世界各國的重視，因為建立空天地海一體化通信網(wǎng)絡(luò )勢在必行，我國在激光通信技術(shù)領(lǐng)域已達到水平，比如衛星激光通信、機載、艦載通信等，芯明天P33壓電偏轉鏡系統已經(jīng)成功應用于衛星激光通信及機、艦激光通信實(shí)驗中。

技術(shù)參數

*以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。

壓電偏轉鏡的應用舉例

衛星激光通信技術(shù)

衛星間要進(jìn)行可靠的通信鏈路，其關(guān)鍵的技術(shù)是實(shí)現對光信號的瞄準、捕獲和跟蹤(簡(jiǎn)稱(chēng)PAT)。由于衛星間的信號傳輸光束束寬非常窄、傳輸距離長(cháng)，所以對衛星光通信PAT系統的控制精度要求遠高于對衛星微波通信系統的要求?？煽康赝ㄐ乓蠊馐瞻l(fā)端之間視軸跟蹤精度為亞微弧度量級，所以這就對精瞄系統提出了較高精度要求，如果精瞄系統的精度和工作帶寬達不到相應的要求就會(huì )導致通信鏈路的失敗，而壓電偏轉鏡就是系統中的精瞄準器件。

天文圖像穩定控制

由于1m太陽(yáng)望遠鏡采用圓頂移開(kāi)并遠離望遠鏡的敞開(kāi)式觀(guān)測模式，使得望遠鏡跟蹤系統觀(guān)測時(shí)圖像隨風(fēng)出現較大幅度的低頻抖動(dòng)。為解決這一問(wèn)題，首先根據望遠鏡現有的光學(xué)系統和風(fēng)載影響下焦面圖像抖動(dòng)的特點(diǎn)，在氧化鈦高分辨率成像通道中設計了基于二維轉鏡的圖像穩定系統。建立系統的傳遞函數，設計驅動(dòng)控制使二維轉鏡的圖像穩定系統可以穩定望遠鏡由隨機風(fēng)載引起的圖像抖動(dòng)。

邁克爾遜干涉儀

邁克爾遜干涉儀是根據光的干涉原理制成的精密測量?jì)x器，它可精密地測量長(cháng)度的微小變化率等。壓電陶瓷材料在電場(chǎng)作用下會(huì )產(chǎn)生伸縮且伸縮量極小，將邁克爾遜干涉儀的反射鏡用壓電陶瓷偏轉鏡，就可以測量出其逆壓電系數。對于在基片上的生長(cháng)有透明介質(zhì)膜層的厚度測定，將樣品置于邁克爾遜光路的一臂，由膜層前后兩面間的反射光與來(lái)自干涉光路另一臂的反射光將產(chǎn)生兩組干涉條紋，根據干涉條紋即可測定膜層厚度。

天文觀(guān)測自適應光學(xué)技術(shù)

在地面或低空空間光通信時(shí)，必須要考慮激光在大氣介質(zhì)環(huán)境下傳輸問(wèn)題。對于強激光，其能量的損耗不僅要考慮線(xiàn)性效應，還需要考慮受激喇曼散射、熱暈等非線(xiàn)性效應。大氣湍流會(huì )使激光束發(fā)生閃爍、漂移和擴展，導致激光束能量衰減并偏離目標。為了補償激光大氣傳輸時(shí)受到的湍流等影響，可采用自適應光學(xué)技術(shù)。自適應光學(xué)技術(shù)采用實(shí)時(shí)探測大氣參數和激光束波前變化的方法，來(lái)實(shí)時(shí)調整激光發(fā)射系統的光學(xué)特性，使激光以方式聚焦在干擾目標上。

光路調整

壓電偏轉鏡可產(chǎn)生θx, θy偏轉運動(dòng)，且精度在微弧度級，可進(jìn)行超高精度的角度調整。通過(guò)壓電偏轉鏡的偏轉，對光的光路進(jìn)行微調整。已廣泛應用于實(shí)驗室需要光路調整的應用。