壓電掃描臺設計是為了滿(mǎn)足超快速度和超精密的應用
壓電掃描臺內置高可靠性壓電陶瓷驅動(dòng)，可以實(shí)現zui大370μm的掃描范圍，運動(dòng)直線(xiàn)性好，可選擇閉環(huán)版 本獲得優(yōu)異的線(xiàn)性度與重復定位精度。在納米光刻實(shí)驗中需要對鏡片進(jìn)行高速微納米級的精密移動(dòng)，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩定性等優(yōu)點(diǎn)應用于納米光刻實(shí)驗。
全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋控制系統設計，電容位移傳感器是將位移變化轉換為電容電量信號的變化。電容位移傳感器簡(jiǎn)單易用，而且擁有*的精度，可達到亞納米量級。結合數字閉環(huán)控制器，納米定位工作臺的響應時(shí)間和穩定時(shí)間可達到毫秒量級。低的移動(dòng)質(zhì)量和高的剛度結合可以提供非常高的帶寬。
芯明天P18.XY300壓電掃描臺以其大位移、高精度、高穩定性等優(yōu)點(diǎn)應用 于納米光刻實(shí)驗。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現X、XY、XYZzui大370μm 的高速掃描，zui大通光孔徑為?35mm，多種位移行程及規格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應用。
壓電掃描臺設計是為了滿(mǎn)足超快速度和超精密的應用。納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅動(dòng)，以柔性鉸鏈為運動(dòng)副，使其結構緊湊、擁有小的體積、無(wú)摩擦、無(wú)間隙、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。該產(chǎn)品具有良好的位置重復性。擁有良好的響應速度，響應時(shí)間達到毫秒量級。并且該款產(chǎn)品可按照不同需求進(jìn)行工業(yè)定制。
