壓電物鏡掃描器是專(zhuān)門(mén)為聚焦顯微而設計的
壓電物鏡掃描器為小體積大行程壓電物鏡掃描器，內置高性能壓電陶瓷，閉環(huán)精度高，響應速度快、滿(mǎn)行程線(xiàn)性度達納米量級，可進(jìn)行激光聚焦，已廣泛應用與晶圓切割、半導體及微電子加工領(lǐng)域。
壓電物鏡掃描器是專(zhuān)門(mén)為聚焦顯微而設計的，采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計，物鏡補償量小，具有超高聚焦穩定性，物鏡掃描器裝入顯微檢測/測量或者觀(guān)測裝置可以帶動(dòng)鏡片聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
P73壓電物鏡定位器是大行程、高速、壓電陶瓷驅動(dòng)的聚焦顯微掃描裝置，產(chǎn)品體積小但可實(shí)現的位移高達550μm。
P73采用柔性鉸鏈導向機構，無(wú)機械摩擦、無(wú)機械間隙、納米級分辨率，具有超高的定位精度及超快的響應速度。
該系列壓電物鏡定位器具有大剛度、諧振頻率高等特點(diǎn)，可以實(shí)現滿(mǎn)行程20ms的階躍時(shí)間，負載150g后階躍時(shí)間小于30ms且重復度達滿(mǎn)行程的0.05%F.S.。
哈爾濱芯明天科技有限公司產(chǎn)品已廣泛應用于半導體技術(shù)、光電子、通信與集成光學(xué)、光學(xué)儀器設備、醫療生物顯微設備、生命科學(xué)、精密加工設備、新設計與醫療技術(shù)、數據存儲技術(shù)、納米技術(shù)、納米制造與納米自動(dòng)化、航空航天、圖像處理等領(lǐng)域。芯明天正在為中國的工業(yè)自動(dòng)化、國防、航天事業(yè)的發(fā)展貢獻著(zhù)自己的力量。
P72為小體積大行程的壓電物鏡掃描器，內置高性能壓電陶瓷，閉環(huán)精度高，響應速度快、滿(mǎn)行程線(xiàn)性度達納米量級，可進(jìn)行激光聚焦，已廣泛應用與晶圓切割、半導體及微電子加工領(lǐng)域。
