壓電物鏡掃描器是SPM的重要部件，它不僅被用來(lái)產(chǎn)生探針的三維運動(dòng)，而且還是測量數據的直接來(lái)源，因此它對SPM的測量精度影響很大。它結構簡(jiǎn)單小巧；機械固有頻率高，對環(huán)境振動(dòng)不敏感；其圓柱對稱(chēng)結構，有利于消除掃描器在X－Y方向的熱漂移；易于制造。
壓電物鏡掃描器由一個(gè)中空的圓柱狀壓電陶瓷管組成，在其外壁均勻對稱(chēng)地沿軸向鍍上4個(gè)金屬電極。其中相對的兩個(gè)電極成對使用，施加單極性或雙極性的電壓，產(chǎn)生一個(gè)水平方向的掃描運動(dòng)。
壓電陶瓷管掃描器載著(zhù)樣品在X－Y平面內做微小運動(dòng)，樣品到針尖的距離會(huì )隨著(zhù)樣品表面形貌的變化而變化，該距離的變化將改變樣品和針尖之間的原子力，原子力的變化會(huì )使得懸臂梁產(chǎn)生法相形變。
通過(guò)激光反射路徑的變化檢測出微懸臂梁的反向形變程度，相應調整Z向壓電陶瓷保證樣品和針尖的原子力保持恒定。壓電陶瓷管掃描器為徑向極化電極分割的壓電陶瓷管，通常采用四分區進(jìn)行分割，可以實(shí)現XYZ三維運動(dòng)。也可以根據客戶(hù)的要求定制進(jìn)行多區域分割。
壓電陶瓷是一種性能奇特的材料，當在壓電陶瓷對稱(chēng)的兩個(gè)端面加上電壓時(shí)，壓電陶瓷會(huì )按特定的方向伸長(cháng)或縮短。而伸長(cháng)或縮短的尺寸與所加的電壓的大小成線(xiàn)性關(guān)系。即可以通過(guò)改變電壓來(lái)控制壓電陶瓷的微小伸縮。
通常把三個(gè)分別代表X，Y，Z方向的壓電陶瓷促動(dòng)器組成三角架的形狀，通過(guò)控制X，Y方向伸縮達到驅動(dòng)探針在樣品表面掃描的目的；通過(guò)控制Z方向壓電陶瓷促動(dòng)器的伸縮達到控制探針與樣品之間距離的目的。
