壓電移相器是基于壓電陶瓷設計并通過(guò)驅動(dòng)壓電陶瓷產(chǎn)生微運動(dòng)來(lái)實(shí)現移相功能的，在電壓信號的控制下產(chǎn)生納米級步進(jìn)運動(dòng)，完成干涉中要求的微小移相運動(dòng)。
壓電移相器由兩部分組成，壓電陶瓷驅動(dòng)與手調微動(dòng)螺釘。為保證對位移的高分辨率要求，壓電陶瓷移相器采用壓電陶瓷直驅技術(shù)結構，確保陶瓷的高分辨率可以直接輸出，而不受外部機械結構的影響。手調微動(dòng)螺釘則采用高精螺絲和襯套，保證了手動(dòng)調節的精度。
移相干涉技術(shù)是一種利用干涉圖對光學(xué)元件進(jìn)行測量的技術(shù)，其中核心部件為移相器，一般常用微位移運動(dòng)器件驅動(dòng)實(shí)現。壓電式移相器，以其優(yōu)良的測試精度而被廣泛用于各種現代干涉儀器中，并被廣泛地應用于各個(gè)領(lǐng)域。
壓電式移相器是由壓電控制器所驅動(dòng)，它所能移動(dòng)的位移與壓電控制器施加于它的電壓信號有關(guān)，并與其大小成線(xiàn)性關(guān)系。壓電式移相器具有體積小巧、高精度、納米級高分辨率、響應速度快、高剛度、控制簡(jiǎn)單且不受磁場(chǎng)影響等優(yōu)點(diǎn)。
壓電陶瓷移相器的內部是由壓電陶瓷驅動(dòng)，它由直流電壓信號來(lái)控制，在150V電壓下產(chǎn)生的位移約0.7µm，可用于快速步進(jìn)移相應用。壓電陶瓷移相器的驅動(dòng)電壓上限為800V，在此電壓下，產(chǎn)生的位移約3.73µm。
該壓電移相器是專(zhuān)為移相應用而設計，可通過(guò)電壓控制進(jìn)行超快速步進(jìn)調節，同時(shí)，可通過(guò)手動(dòng)調節θx、θy兩軸的偏轉角度，角度調節范圍可達±4°。將鏡片調節與移相步進(jìn)結合，使其更方便于像移、干涉測量等應用。
