P22一維θx向壓電偏轉鏡4mrad 是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件，內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計，外部機械結構通過(guò)內部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現單軸或多軸角度偏轉運動(dòng)，補償量小，確保偏轉鏡具有良好的運動(dòng)精度和超高的穩定性，通過(guò)內置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》

p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉鏡 25mrad是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件，內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計，外部機械結構通過(guò)內部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現單軸或多軸角度偏轉運動(dòng)，補償量小，確保偏轉鏡具有良好的運動(dòng)精度和超高的穩定性，通過(guò)內置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》

壓電偏轉鏡/傾斜鏡采用壓電陶瓷直推驅動(dòng)，零摩擦的柔性鉸鏈為導向系統使其具有結構緊湊、體積小、無(wú)機械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。鏡子只需要簡(jiǎn)單的固定到偏轉臺上，可提供2毫弧度的偏轉行程。在整個(gè)偏轉行程中可達到亞微弧度的分辨率。低的移動(dòng)質(zhì)量和優(yōu)異的控制系統可以提供良好的響應時(shí)間和和速度。《查看更多》