產(chǎn)品名稱(chēng):p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉鏡
產(chǎn)品型號:P31
產(chǎn)品特點(diǎn):p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉鏡 25mrad是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件,內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計,外部機械結構通過(guò)內部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現單軸或多軸角度偏轉運動(dòng),補償量小,確保偏轉鏡具有良好的運動(dòng)精度和超高的穩定性,通過(guò)內置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制,實(shí)現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
更新日期:2021-03-23
1.p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉鏡
P31俯仰/偏轉鏡系統可提供光束偏轉角度達50mrad,這種偏轉鏡系統是基于成熟的平行運動(dòng)學(xué)設計,兩個(gè)運動(dòng)軸為垂直共面軸且具有共同的固定點(diǎn),具有高分辨率及高定位精度等特點(diǎn)。
2.p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉鏡
特性
• θx,θy二維偏轉,zui大偏轉角度25mrad • 閉環(huán)定位精度高
• 分辨率高 • 溫度穩定性高 • 亞毫秒響應時(shí)間
3.二維θx,θy向壓電偏轉鏡 25mrad
運動(dòng)方式 | 頻率負載曲線(xiàn) | 閉環(huán)曲線(xiàn) |
閉環(huán)傳感輸出監測電壓與偏轉鏡輸出偏轉角度成線(xiàn)性關(guān)系。 |
高可靠性及長(cháng)壽命、高穩定性及動(dòng)態(tài)性 | 結構原理 | |
P31系統內部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動(dòng)器,被集成在成熟的、經(jīng)過(guò)FEA建模分析的鉸鏈導向系統。壓電促動(dòng)器為疊堆共燒型壓電陶瓷,可提供更好的穩定性及可靠性。 壓電促動(dòng)器、導向機構及傳感器是免維護的,不易損壞且提供超高的可靠性。先進(jìn)的鉸鏈/杠桿設計將慣性zui小化,允許25mrad的大角度俯仰/偏轉范圍(可將光束偏轉50mrad),且具有非??斓捻憫俣?,在毫秒級范圍。 除了大偏轉角度及高動(dòng)態(tài),P31還提供了亞微弧度的分辨率。內部集成高分辨率、全橋的應變傳感器(SGS)實(shí)現了的位置控制,具有優(yōu)異的重復定位精度,通常為滿(mǎn)行程的0.2%。 | 壓電偏轉鏡(兩軸運動(dòng))是基于平行運動(dòng)學(xué)設計,具有共面軸及移動(dòng)面。四個(gè)執行機構(壓電促動(dòng)器)以90°角平分放置,成對的差分控制分布。兩對差分驅動(dòng)壓電促動(dòng)器在較大溫度范圍內提供zui高可實(shí)現的角度穩定性。它的偏擺運動(dòng)是由兩對壓電促動(dòng)器以推拉模式來(lái)實(shí)現,采用橋式連接電路控制。 |
可定制鏡片轉接座 | 驅動(dòng)控制 |
| P31壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90。相差輸入,通過(guò)控制電壓的大小,對不同的光路距離,可進(jìn)行一定范圍的圓形范圍掃描,如下右圖所示。 |
應用 | 產(chǎn)品測試 |
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• 圖像處理/穩定 • 光束掃描 • 隔行掃描、抖動(dòng) • 光束偏擺/穩定 • 光學(xué)、激光掃描、通信 • 光學(xué)濾波器/開(kāi)關(guān) • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 自適應光學(xué)、穩像 • 干涉
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