產(chǎn)品名稱(chēng)：芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺
產(chǎn)品型號：P51系列
產(chǎn)品報價(jià)：
產(chǎn)品特點(diǎn)：芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺 三維θxθyZ向壓電偏擺臺P51系列是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺，采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結構設計，響應速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大通孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統中。
更新日期：2021-03-23
芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺特性：
• ±1.1mrad/軸的θx, θy偏擺運動(dòng)及Z向110μm直線(xiàn)運動(dòng) • 閉環(huán)定位精度高
• 80×80mm大通光孔 • 分辨率高 • 外形超薄 • 響應速度快
芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺外觀(guān)形狀
外觀(guān)形狀 | 產(chǎn)品運動(dòng)示意圖 | 閉環(huán)曲線(xiàn) |
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閉環(huán)傳感精度高 | 頻率負載曲線(xiàn) | 仿真分析 | |
P51系列壓電偏轉臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺，偏轉行程為±1.1mrad，Z軸直線(xiàn)行程可達110μm。 P51偏轉臺臺體采用無(wú)回差柔性鉸鏈導向結構，采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化，具有超高的剛度以及導向精度。 可選擇內置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，確保其具有良好的運動(dòng)控制精度，直線(xiàn)運動(dòng)分辨率可達到亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧度、定位穩定時(shí)間為毫秒量級。 |
| 通過(guò)有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導向機構偏轉臺。有限元分析技術(shù)用于設計運動(dòng)方向上zui高的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許*精度的運動(dòng)，因為鉸鏈機構無(wú)間隙、無(wú)摩擦。
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超薄的設計適用于顯微應用且可負載大鏡片 | 產(chǎn)品測試 |
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P51壓電偏轉臺中心大通光孔達80×80mm，非常適用于需要透射光的應用，負載后仍可高動(dòng)態(tài)高精度的掃描。 P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專(zhuān)門(mén)為對準、納米聚焦、計量等應用設計的，臺體非常薄，厚度僅為20mm，非常易于集成到高精度顯微鏡中。 |
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校準調測 | 震動(dòng)實(shí)驗 |
3.三維θxθyZ向壓電偏擺臺
驅動(dòng)方式
P51壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90。相差輸入，并配合Z軸升降運動(dòng)，再通過(guò)控制電壓的大小，對于固定的光路距離，可進(jìn)行一定范圍的錐形范圍掃描，如下右圖所示。
應用
• 光束掃描 • 激光合束對準與激光致盲 • 干涉/計量 • 空間擾動(dòng)模擬系統 • 光路調整 • 掩模與晶片位置調整 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結構分析
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