產(chǎn)品名稱(chēng):芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺
產(chǎn)品型號:N50
產(chǎn)品特點(diǎn):芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺 N50系列為θx, θz軸偏擺/旋轉臺,*的承載能力,zui大可承載60kg,偏轉角度±0.3mrad??蓭лd20kg負載高頻率使用。產(chǎn)品主要應用于大負載偏擺/旋轉運動(dòng)實(shí)驗,比如模擬空間擾動(dòng)實(shí)驗等。
更新日期:2021-03-23
1.芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺
特性
• θx, θz偏擺/旋轉,角度位移達±0.3mrad/軸 • zui大承載達60kg • 閉環(huán)定位精度高 • 外形堅固 • 響應速度快
2.芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺
外觀(guān)形狀 | 產(chǎn)品運動(dòng)示意圖 | 閉環(huán)曲線(xiàn) |
大承載、高精度、高頻率 | 頻率負載曲線(xiàn) | 驅動(dòng)測試實(shí)驗 | |
N50 θx, θz二維偏擺/旋轉臺是專(zhuān)門(mén)為空間擾動(dòng)實(shí)驗而設計的大承載偏擺系統,具有電容閉環(huán)幅值校正功能,可以帶60kg負載做精密偏轉,zui大行程為±0.3mrad。 N50壓電偏轉臺采用有限元分析對結構進(jìn)行優(yōu)化,具有非常高的剛度,即使其在負載的情況下仍然可以實(shí) 現高動(dòng)態(tài),zui大頻率可以達到500Hz。 可選擇多種傳感器類(lèi)型,如電容、電感、應變計等。該產(chǎn)品已經(jīng)成功應用于模擬空間擾動(dòng)等實(shí)驗中。 | N50大負載θx, θz二維偏擺/旋轉臺需要三通道控制器進(jìn)行驅動(dòng)控 制,根據所需使用頻率配套不同功率的壓電控制器。如100~200Hz 使用頻率,我們推薦配套E00/E01系列控制器選擇E05驅動(dòng)模塊。 |
3.二維θx, θz向壓電偏擺臺
應用
• 光束掃描 • 圖像處理/穩定 • 光學(xué)、激光掃描、通信、光線(xiàn)偏轉、干涉/計量 • 空間擾動(dòng)模擬系統 • 光路調整 • 掩模與晶片位置調整 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結構分析
可定制
N50壓電偏擺/旋轉臺參數可接受定制。
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