芯明天放大機構式壓電掃描臺 P-18壓電掃描臺為1-3維直線(xiàn)掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描，大通光孔徑為Ø35mm，多種位移行程及規格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應用。

芯明天放大機構式壓電掃描臺P-18壓電掃描臺特性

• 大位移370μm

• 大承載3.5kg

• 通孔直徑：Ø35mm

• 閉環(huán)重復定位精度高 • 響應速度快

1~3維掃描臺

P18系列壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結構形式，可以 滿(mǎn)足1~3維大行程掃描或定位的應用需求。

大位移、大承載、高剛度、高頻響

        P18系列壓電掃描臺內置高可靠性壓電陶瓷驅動(dòng)，可以 實(shí)現大370μm的掃描范圍，運動(dòng)直線(xiàn)性好，可選擇閉環(huán)版 本獲得優(yōu)異的線(xiàn)性度與重復定位精度。

        P18采用*的結構設計，具有大剛度、大出力、大承 載等特點(diǎn)，大承載達3.5kg，空載諧振頻率達600Hz，配 套芯明天大功率控制器響應時(shí)間可達5ms，是精密加 工、半導體制造、掃描顯微等應用。

P-18壓電掃描臺典型應用

• 圖像處理與穩定 • 掃描顯微

• 干涉/計量 • 表面檢測

• 半導體測量 • 光學(xué)計量

應用實(shí)例-納米光刻

 在納米光刻實(shí)驗中需要對鏡片進(jìn)行高速微納米級的精密移動(dòng)，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩定性等優(yōu)點(diǎn)應用于納米光刻實(shí)驗。

P-18壓電掃描臺技術(shù)參數：