產(chǎn)品名稱(chēng)：芯明天放大機構式壓電掃描臺
產(chǎn)品型號：N12
產(chǎn)品報價(jià)：
產(chǎn)品特點(diǎn)：芯明天放大機構式壓電掃描臺 N12壓電掃描臺為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內部采用無(wú)摩擦的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu) 化結構，具有超高的導向精度、高剛性、大負載、無(wú)磨損等特點(diǎn)，平臺內可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實(shí)現滿(mǎn)行程0.04%的 重復定位精度。
更新日期：2024-03-04
芯明天放大機構式壓電掃描臺 N12壓電掃描臺為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內部采用無(wú)摩擦的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu) 化結構，具有超高的導向精度、高剛性、大負載、無(wú)磨損等特點(diǎn)，平臺內可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實(shí)現滿(mǎn)行程0.04%的 重復定位精度。
芯明天放大機構式壓電掃描臺N12壓電掃描臺特性
• 大位移110μm
• 大承載0.7kg
• 臺體中心方形通孔
• 閉環(huán)重復定位精度高 • 開(kāi)環(huán)閉環(huán)可選
1~3維掃描臺
N12系列壓電掃描臺包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規格型號。
閉環(huán)傳感定位精度高
N12系列壓電掃描臺配置高分辨率傳感器，對位置實(shí)時(shí)檢測 并反饋到壓電控制器，控制器通過(guò)PID算法調整電壓修正位移，從 而實(shí)現高精度定位。
N12.XYZ壓電掃描臺配套芯明天E72系列模塊化控制器應用 于光學(xué)顯微成像，實(shí)現XYZ軸精密掃描。
小體積、大位移、中心通孔
N12系列納米定位臺體積非常小巧，位移可達110μm。 *的平行運動(dòng)學(xué)設計原理，使得平臺可以實(shí)現XYZ軸高速 精密運動(dòng)。這款產(chǎn)品的應用非常廣泛，從光學(xué)研究到工業(yè)化 OEM系統等。
該系列壓電掃描臺的通光孔為45×45mm。高剛度以及 優(yōu)異的直線(xiàn)性使其成為光學(xué)、激光領(lǐng)域納米級精密定位應用。
N12壓電掃描臺典型應用
掃描顯微
• 共焦顯微
• 晶圓定位
• 表面測量
• 圖像處理與穩定
• 半導體測試
N12壓電掃描臺技術(shù)參數：
|
型號 |
尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) |
N12.X100S N12.X100K |
N12.Z100S N12.Z100K |
N12.XY100S N12.XY100K |
N12.XZ100S N12.XZ100K |
N12.XYZ100S N12.XYZ100K |
單位 |
| 運動(dòng)自由度 | X | Z | X、Y | X、Z | X、Y、Z |
| |
| 標稱(chēng)行程范圍（0~120V） | 80 | 80 | 80/軸 | 80/軸 | 80/軸 | μm±20% | |
| 大行程范圍（-20~150V） | 110 | 110 | 110/軸 | 110/軸 | 110/軸 | μm±20% | |
| 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- |
| |
| 通孔尺寸 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | mm | |
| 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | nm | |
| 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | |
| 閉環(huán)重復定位精度 | 0.04/- | 0.04/- | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | %F.S. | |
| 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <10 | <10 | <15 | <15 | <20 | µrad | |
| 推/拉力 | 30/10 | 30/10 | 25/8 | 25/8 | 20/4 | N | |
| 運動(dòng)方向剛度 | 0.3 | 0.3 | X0.25/Y0.3 | X0.3/Z0.25 | X0.3/Y0.25/Z0.2 | N/μm±20% | |
| 空載諧振頻率 | 230 | 200 | X170/Y200 | X200/Z150 | X200/Y150/Z120 | Hz±20% | |
| 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 10/0.8 | 10/0.8 | 15/0.8 | 15/0.8 | 30/0.8 | ms±20% | |
|
閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 60 | 65 | 55 | 50 | 30 |
Hz±20% |
| 行程 | 8 | 8 | 7 | 6 | 4 | ||
| 大承載 | 0.7 | 0.7 | 0.7 | 0.7 | 0.5 | kg | |
| 靜電容量 | 1.8 | 1.8 | 1.8/軸 | 1.8/軸 | 1.8/軸 | μF±20% | |
| 材質(zhì) | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 |
| |
| 重量 | 240 | 240 | 290 | 290 | 350 | g±5% | |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。
| 相關(guān)同類(lèi)產(chǎn)品： |
17051647888
地址：黑龍江省哈爾濱市南崗區學(xué)府路191號創(chuàng )業(yè)孵化產(chǎn)業(yè)園I2棟1層哈爾濱芯明天科技有限公司專(zhuān)業(yè)提供N12芯明天放大機構式壓電掃描臺等產(chǎn)品信息，歡迎來(lái)電咨詢(xún)！
哈爾濱芯明天科技有限公司 版權所有 ICP備案號:黑ICP備16009173號-2 管理登陸 技術(shù)支持：儀表網(wǎng) 網(wǎng)站地圖
發(fā)郵件給我們：ymy@coremorrow.com