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    產(chǎn)品名稱(chēng):P76壓電物鏡定位器

    產(chǎn)品型號:P76大負載

    產(chǎn)品報價(jià):

    產(chǎn)品特點(diǎn):P76壓電物鏡定位器為大負載壓電物鏡定位器,負載能力可達500g,Z軸直線(xiàn)運動(dòng)范圍可達110μm,采用柔性鉸鏈設計機構,無(wú) 摩擦,直線(xiàn)性好,閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設計,可適配多種型號的顯微鏡。

    更新日期:2021-03-23

    P76大負載P76壓電物鏡定位器的詳細資料:

    P76系列壓電物鏡定位器為大負載壓電物鏡定位器,負載能力可達500g,Z軸直線(xiàn)運動(dòng)范圍可達110μm,采用柔性鉸鏈設計機構,無(wú) 摩擦,直線(xiàn)性好,閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設計,可適配多種型號的顯微鏡。

    特性:

    • 位移行程110μm

    • 大負載500g

    • 毫秒級響應時(shí)間

    • 閉環(huán)重復定位精度高

    • 聚焦穩定性好

    典型應用

    • 三維成像 • 干涉/計量

    • 自動(dòng)聚焦系統 • 共焦顯微

    • 晶圓切割 • 半導體測試

    螺紋適配器便于安裝
       P76物鏡定位器與物鏡之間通過(guò)適配器連接,將物鏡快速鎖定在 預期位置 。 多種螺紋 牙可選 ,如 M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于與顯 微鏡集成安裝。

     

    大負載、高頻響、高分辨率
       P76納米掃描聚焦系統的設計是為了大負載、大孔徑 物鏡在現代高分辨率顯微應用中達到快的階躍時(shí)間。它 極其堅固的設計提供了非??斓姆€定時(shí)間及掃描頻率,即 使帶載幾百克的物鏡時(shí)。多個(gè)壓電驅動(dòng)器的旋轉對稱(chēng)排列 及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設計,使它具有較高的剛度,同 時(shí)保證了優(yōu)異的導向精度和動(dòng)態(tài)性。
       P76壓電物鏡定位器的大通光孔徑為22mm,大 負載為500g,它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應用中常用 的大視場(chǎng)物鏡。P76壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、 奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。它也可以通過(guò)適配器與 手動(dòng)調節臺相結合使用。

    技術(shù)參數:

     

    型號

    尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán)

    P76.Z100S P76.Z100K

     

    單位

    運動(dòng)自由度

    Z

     

    標稱(chēng)行程范圍(0~120V)

    80

    μm±20%

    大行程范圍(-20~150V)

    110

    μm±20%

    傳感器類(lèi)型

    SGS/-

     

    閉/開(kāi)環(huán)分辨率

    5/2.5

    nm

    閉環(huán)線(xiàn)性度

    0.05/-

    %F.S.

    閉環(huán)重復定位精度

    0.02/-

    %F.S.

    推/拉力

    70/10

    N

    運動(dòng)方向剛度

    0.8

    N/μm±20%

    空載諧振頻率

    800

    Hz±20%

    閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間

    5/2

    ms±20%

     

    閉環(huán)空載工作頻率

    10%行程

    400

     

    Hz±20%

    行程

    50

    大承載

    0.5

    kg

    靜電容量

    7.2

    μF±20%

    材質(zhì)

    鋼、鋁

     

    重量

    520

    g±5%

     

    以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。

     

     

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