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    產(chǎn)品名稱(chēng):P72系列壓電物鏡定位器

    產(chǎn)品型號:

    產(chǎn)品報價(jià):

    產(chǎn)品特點(diǎn):P72系列壓電物鏡定位器是專(zhuān)門(mén)為物鏡聚焦顯微而設計的,采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計,物鏡補償量較小,具有超高聚焦 穩定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀(guān)測裝置可以帶動(dòng)物鏡頭聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

    更新日期:2021-10-15

    P72系列壓電物鏡定位器的詳細資料:

     P72系列壓電物鏡定位器是專(zhuān)門(mén)為物鏡聚焦顯微而設計的,采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計,物鏡補償量較小,具有超高聚焦 穩定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀(guān)測裝置可以帶動(dòng)物鏡頭聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

    特點(diǎn):

    • 大行程110μm

    • 大承載0.2kg

    • 毫秒級響應時(shí)間

    • 閉環(huán)重復定位精度高 • 開(kāi)環(huán)/閉環(huán)可選

    螺紋適配器便于安裝

    P72物鏡定位器與物鏡之間通過(guò)適配器連接,將物鏡快速鎖定在 預期位置 。 多種螺紋 牙 可 選 , 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于與顯 微鏡集成安裝。

    典型應用

    • 三維成像 • 干涉/計量

    • 表面結構分析 • 共焦顯微

    • 生物科技 • 半導體測試

    體積小巧、易于集成、高動(dòng)態(tài)、直線(xiàn)性好

    P72壓電物鏡定位器體積小巧、結構緊湊,可實(shí)現 大行程110μm的位移。多種螺紋牙連接器可選,易于與其 他光學(xué)顯微鏡等集成。

    臺體采用柔性鉸鏈機構,無(wú)摩擦且具有*的分辨 率。由于其空載諧振頻率可達350Hz,且可帶載200g負載 作高速精密運動(dòng),在光學(xué)掃描、共焦顯微等領(lǐng)域得到廣泛 的應用。

    可選擇閉環(huán)版本,實(shí)現超高的定位精度。

    頻率負載曲線(xiàn) 推薦控制器

    E00/E01

    XE-709

    E53

    頁(yè)碼 157

    頁(yè)碼 166

    頁(yè)碼 171





    1路輸出

    1路輸出

    1路輸出

    上位機通信、模擬、旋鈕

    模擬、上位機通信

    模擬、上位機通信

    開(kāi)環(huán)/閉環(huán)

    開(kāi)環(huán)/閉環(huán)

    開(kāi)環(huán)/閉環(huán)

    平均功率7W/35W

    平均功率15W

    平均功率10W


    P72系列壓電物鏡定位器技術(shù)參數:


    型號

    尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán)

    P72.Z100S P72.Z100K


    單位

    運動(dòng)自由度

    Z


    標稱(chēng)行程范圍(0~120V)

    80

    μm±20%

    大行程范圍(-20~150V)

    110

    μm±20%

    傳感器類(lèi)型

    SGS/-


    閉/開(kāi)環(huán)分辨率

    5/2.5

    nm

    閉環(huán)線(xiàn)性度

    0.1/-

    %F.S.

    閉環(huán)重復定位精度

    0.05/-

    %F.S.

    推/拉力

    110/15

    N

    運動(dòng)方向剛度

    1.4

    N/μm±20%

    空載諧振頻率

    350

    Hz±20%

    閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間

    10/3

    ms±20%


    閉環(huán)空載工作頻率

    10%行程

    50


    Hz±20%

    行程

    15

    大承載

    0.2

    kg

    靜電容量

    3.6

    μF±20%

    材質(zhì)


    重量

    150

    g±5%


    以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。


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