三維XYZ向壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電定位臺，平臺內部采用無(wú)摩擦、無(wú)空回的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu) 化，柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無(wú)摩擦、免維護等特點(diǎn)。壓電定位臺具有好的控制精度，分辨率和穩定 性可以達到納米量級，定位穩定時(shí)間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響，壓電平臺體積小、結構緊湊易 于集成。

特性：

 1~3維自由組合

• 位移行程8μm • 大承載0.8kg • 重復定位精度可達納米級

• 亞毫秒響應時(shí)間

1-3維平移臺

    P63系列壓電納米定位臺，包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多種運動(dòng)方式可選。超小體積易于集成配套。

典型應用

• 顯微成像 • 納米定位

• 生物技術(shù) • 半導體技術(shù)

• 質(zhì)量保證測試 • 微車(chē)削

• 原子力顯微鏡

小體積、高精度、響應速度快

   P63系列壓電納米定位臺重要的特點(diǎn)是超級精密 且體積非常小巧，尺寸僅為30×24×42mm（X軸尺寸 為30×24×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。

   P63系列納米定位臺是超高精密納米定位系統，是 為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應用而設 計的，具有超低慣性，響應時(shí)間可達0.3ms，可配置 高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。

應用實(shí)例

   P63三維納米定位臺已經(jīng)應用于基于SEM在線(xiàn)納米切削平臺切削 力測試實(shí)驗中。

三維XYZ向壓電納米定位臺技術(shù)參數：

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。