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    產(chǎn)品名稱(chēng)：E01.Cap 電容式測微儀

    產(chǎn)品型號：

    產(chǎn)品報價(jià)：

    產(chǎn)品特點(diǎn)：E01.Cap 電容式測微儀是毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器。測微儀包括電感測微儀、電容測微儀、激光測微儀三種類(lèi)型，主要用于高精度測量長(cháng)度、厚度、深度、錐度等應用。

    更新日期：2021-09-08

    E01.Cap 電容式測微儀的詳細資料：


    E01.Cap 電容式測微儀是毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器。測微儀包括電感測微儀、電容測微儀、激光測微儀三種類(lèi)型，主要用于高精度測量長(cháng)度、厚度、深度、錐度等應用。

    原理

    它基于一個(gè)理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目 標形成的兩個(gè)電極，采用保護環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬 時(shí)，傳感器仍是線(xiàn)性的。


    E01.Cap 電容式測微儀技術(shù)參數

    型號

    E09.Cap

    單位

    量程范圍

    0~200

    μm

    線(xiàn)性度

    ±0.1

    μm

    靜態(tài)分辨率

    2.5

    nm

    動(dòng)態(tài)分辨率（1kHz）

    100

    nm

    傳感器直徑

    10

    mm

    小目標直徑

    10

    mm

    靜態(tài)重復性

    5

    nm

    信號溫度穩定性

    ＜ 0.005

    %FSO/℃

    長(cháng)期穩定性

    ＜ 0.04

    %FSO/ 月

    帶寬

    2

    kHz（-3dB）

    工作溫度范圍

    +10~+50

    ℃

    環(huán)境濕度

    <85

    %

    電壓輸出范圍

    0~+10

    V

    供電電壓

    220VAC 50Hz±10%


    傳感器線(xiàn)長(cháng)

    1.6

    m

    板卡尺寸：長(cháng)×高× 深

    35×130×180

    mm

    機箱尺寸：長(cháng)×高× 深

    280×170×360

    mm


    特性：

    • 模塊化設計、自由組拼

    • 可提供單個(gè)板卡模塊

    • 高分辨率 • 模擬輸出

    • 非接觸式測量


    應用：

    • Z向水準測量 •  X, Y向定位

    • 軸向振動(dòng)測量

    • 熱膨脹測量 • 位移臺傳感器



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