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    公司名稱(chēng):哈爾濱芯明天科技有限公司
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    產(chǎn)品名稱(chēng):小體積超精密電容測微儀

    產(chǎn)品型號:

    產(chǎn)品報價(jià):

    產(chǎn)品特點(diǎn):小體積超精密電容測微儀是具有微米或毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器,主要用于高精度長(cháng)度(深度、高度、厚度、直徑、錐度)測量、振動(dòng)測量、微位移檢測等,在航天、航空、汽車(chē)、機床、光學(xué)器件加工、半導體及其它工業(yè)測控等領(lǐng)域廣泛應用。

    更新日期:2023-09-15

    小體積超精密電容測微儀的詳細資料:

    小體積超精密電容測微儀

    高精度測微儀是具有微米或毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器,分為電感式、電容式、激光式。主要用于高精度長(cháng)度(深度、高度、厚度、直徑、錐度)測量、振動(dòng)測量、微位移檢測等,在航天、航空、汽車(chē)、機床、光學(xué)器件加工、半導體及其它工業(yè)測控等領(lǐng)域廣泛應用。


    本次為大家帶來(lái)一款芯明天小體積超精密電容式傳感器。它由兩部分組成,分別為電容探頭及控制盒。電容探頭為非接觸式,尺寸為Φ10mm×18.5mm,通過(guò)電容測頭可以測量0~500μm范圍內的微小位移,測量分辨率可達1.25nm??刂坪谐叽鐑H有105×26×66mm^3,單通道輸出,體積設計非常小巧,易集成。整體外觀(guān)如下圖所示。

    圖片

    產(chǎn)品特點(diǎn)

    測量范圍 0~500 μm
    分辨率可達1.25nm
    非接觸式測量
    體積小、易集成

    小體積超精密電容測微儀典型應用

    圖片

    電容式傳感器優(yōu)勢

    1.穩定性好。電容傳感器的電容值通常與電極材料無(wú)關(guān),這有利于選擇具有低溫系統的材料,并且由于它產(chǎn)生的熱量很少,因此對穩定性的影響很小。
    2.結構簡(jiǎn)單。電容式傳感器結構簡(jiǎn)單,易于確保高精度,并且可以做得很小,可以在特殊環(huán)境下測量,如高低溫、強磁等惡劣環(huán)境。
    3.動(dòng)態(tài)響應良好。由于極板之間的靜電引力很小,其運動(dòng)部分可以做得非常小和薄,因此固有頻率很高,動(dòng)態(tài)響應時(shí)間短,并且可以在幾兆赫茲的頻率下工作,特別適合動(dòng)態(tài)測量。
    4.非接觸式測量。使用非接觸式測量時(shí),可以減小工作表面粗糙度對測量的影響。

    系統組成

    芯明天電容測微儀由兩部分組成,分別為電容測頭/電容傳感器、傳感信號處理控制模塊。

    (1)電容測頭/電容傳感器

    圖片

    芯明天該款電容測頭(即電容傳感器)是圓柱型,采用平行極板原理,當被測物與電容測頭間的距離發(fā)生變化時(shí),它可將這種距離變化轉換為相應的容抗變化。
    圖片

    原理圖


    技術(shù)參數
    型號
    C01D10
    C02D10
    C05D10
    單位
    量程范圍
    0~100
    0~200
    0~500
    μm
    靜態(tài)分辨率
    1.25
    2.5
    5
    nm
    動(dòng)態(tài)分辨率
    (1kHz)
    50
    100
    200
    nm
    線(xiàn)性度
    50
    100
    200
    nm
    重復度
    2.5
    5
    10
    nm
    傳感器直徑
    10
    mm
    被測表面
    最小直徑
    10
    mm
    傳感器線(xiàn)長(cháng)
    1.5
    m
    固定方式
    徑向裝夾

    探頭尺寸
    Φ10×18.5
    mm
    重量
    (含線(xiàn)及連接器)
    55
    g



    注:可定制1mm量程版本。



    (2)傳感信號處理控制模塊

    傳感信號處理控制模塊是專(zhuān)為匹配芯明天電容傳感器而研發(fā)設計,主要功能是將電容傳感器的位移信號轉換為電信號。它具有小巧緊湊的外形,非常適用于實(shí)驗室及工業(yè)等各種場(chǎng)合的應用。


    圖片

    技術(shù)參數
    控制器型號
    E75.CapA1-H
    單位
    通道數
    1

    靜態(tài)分辨率
    0.00125
    %F.S.
    動(dòng)態(tài)分辨率
    0.05 (2kHz)
    %F.S.
    模擬信號輸出速度
    2
    kHz
    絕對誤差
    ±0.2
    %F.S.
    線(xiàn)性度
    0.05
    %F.S.
    重復精度
    0.0025
    %F.S.
    信號溫度穩定性
    <0.005
    %FSO/℃
    長(cháng)期穩定性
    <0.04
    %FSO/月
    帶寬
    2
    KHz(-3dB)
    工作溫度
    +10~+50
    存儲溫度
    -10~+75
    環(huán)境濕度
    <85
    %
    供電電壓
    24VDC/±50mA
    V
    電壓輸出范圍
    (模擬)
    0~10
    V
    傳感器輸出接口
    SMA

    尺寸(L×W×D)
    105×26×66
    mm
    重量
    0.18
    kg



    此外,芯明天具有模塊化的電容傳感器信號處理控制模塊 - E09.CAP系列,它的測量通道數可在1至12通道間自由選擇,同時(shí)也可根據需求定制更多的測量通道數。

    圖片

    芯明天E09.CAP系列電容傳感信號處理模塊


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