產(chǎn)品名稱(chēng):三維XYZ向壓電納米定位臺 6.8μm價(jià)格
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品特點(diǎn):三維XYZ向壓電納米定位臺 6.8μm價(jià)格 P63系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電運動(dòng)平臺,平臺內部采用無(wú)摩擦、無(wú)空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優(yōu)化,柔性導向系統具有非常高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無(wú)摩擦、免維護等特點(diǎn)。壓電定位臺具有非常高的控制精度,分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時(shí)間僅為毫秒量級,運動(dòng)平臺采用無(wú)磁材質(zhì),使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響。
更新日期:2021-09-08
三維XYZ向壓電納米定位臺 6.8μm價(jià)格為小體積1~3維壓電運動(dòng)平臺,平臺內部采用無(wú)摩擦、無(wú)空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優(yōu)化,柔性導向系統具有非常高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無(wú)摩擦、免維護等特點(diǎn)。壓電定位臺具有非常高的控制精度,分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時(shí)間僅為毫秒量級,運動(dòng)平臺采用無(wú)磁材質(zhì),使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響,且壓電平臺體積小巧、結構緊湊易于集成。
三維XYZ向壓電納米定位臺 6.8μm價(jià)格
特性
• 1~3維自由組合 • 位移行程6.8μm • 亞毫秒響應時(shí)間 • 承載0.4kg • 重復定位精度可達納米級
小體積、高精度、響應速度快 | 傳感器類(lèi)型 | 頻率負載曲線(xiàn) | |
P63系列壓電納米定位臺非常重要的特點(diǎn)是精度高、體積小巧,P63.XYZ三維壓電運動(dòng)平臺的尺寸僅為30×30×42mm(一維X軸運動(dòng)壓電平臺尺寸為30×30×21mm),易于集成到掃描儀器中。 P63系列壓電納米定位臺是高精密納米定位系統,是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應用而設計的,慣性低,響應時(shí)間可達0.3ms,可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率的高速掃描。 |
應用 • 光纖端面檢測 • 納米壓印 • 納米計量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù)/半導體技術(shù) •質(zhì)量保證測試 •微加工/精密控制 |
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