產(chǎn)品名稱(chēng)：P32三維θxθyZ向壓電偏轉鏡 6mrad 37.5μm
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品報價(jià)：
產(chǎn)品特點(diǎn)：P32三維θxθyZ向壓電偏轉鏡 6mrad 37.5μm壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件，內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計，外部機械結構通過(guò)內部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現單軸或多軸角度偏轉運動(dòng)，補償量小，偏轉鏡具有較好的運動(dòng)精度和高穩定性，通過(guò)內置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
更新日期：2022-11-17
P32三維θxθyZ向壓電偏轉鏡 6mrad 37.5μm壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件，內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計，外部機械結構通過(guò)內部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現單軸或多軸角度偏轉運動(dòng)，補償量小，偏轉鏡具有較好的運動(dòng)精度和高穩定性，通過(guò)內置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P32系列Z向/俯仰/偏轉鏡提供兩軸的高速精密偏轉運動(dòng)及Z軸直線(xiàn)升降運動(dòng)，直線(xiàn)運動(dòng)的分辨率可達亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧度，響應時(shí)間可達毫秒量級。P32系列壓電偏轉鏡體積小巧、結構緊湊，可實(shí)現6mrad偏轉，Z軸37.5μm的直線(xiàn)運動(dòng)。
特性 P32三維θxθyZ向壓電偏轉鏡 6mrad 37.5μm
• θx,θy二維偏轉及Z向升降運動(dòng)，偏轉角度25mrad，直線(xiàn)位移37.5μm • 閉環(huán)定位精度高 • 分辨率高 • 溫度穩定性高 • 亞毫秒響應時(shí)間
| 高分辨率、高穩定性及動(dòng)態(tài)性 | 結構原理 | |
| P32壓電偏轉鏡體積緊湊，內部裝配帶有預緊的高可靠性壓電促動(dòng)器，集成在復雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導向系統。壓電促動(dòng)器是疊堆共燒型壓電陶瓷，比傳統的壓電促動(dòng)器提供好的性能及可靠性。 P32壓電偏轉鏡采用基于平行運動(dòng)學(xué)的壓電陶瓷直驅式三腳架結構，數十億次的運動(dòng)周期操作而*或性能下降，非常適合工業(yè)應用。 三腳架結構設計在較大的溫度范圍內提供優(yōu)化的角度穩定性。這種設計具有體積小巧、兩軸具有相同的大小及動(dòng)態(tài)性能、快的響應速度及好的線(xiàn)性度等優(yōu)勢，也防止了偏振旋轉。 | P32偏轉鏡是基于3個(gè)壓電陶瓷機構設計而成的，由三支壓電陶瓷驅動(dòng)，以120°角平分放置，采用坐標變換，運動(dòng)可以分不同機構之間控制。這種結構設計除了可實(shí)現平臺的傾斜，也可實(shí)現平臺Z向的直線(xiàn)移動(dòng)，可以用于校正光學(xué)路徑長(cháng)度。其中， A、B、C表示測量的3點(diǎn)處位移量，兩軸擺角及Z向位移的簡(jiǎn)便計算公式分別如下，
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驅動(dòng)控制
P32壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90。相差輸入，與Z向升降運動(dòng)配合，再通過(guò)控制電壓的大小，對一定的光路距離，可進(jìn)行一定范圍的錐形范圍掃描，如下右圖所示。
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