產(chǎn)品名稱(chēng):P34二維θxθy向壓電偏轉鏡 1.5/3/6mrad
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品特點(diǎn):P34二維θxθy向壓電偏轉鏡 1.5/3/6mrad壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件,內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計,外部機械結構通過(guò)內部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現單軸或多軸角度偏轉運動(dòng),補償量小,偏轉鏡具有高的運動(dòng)精度和穩定性,通過(guò)內置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制,實(shí)現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
更新日期:2022-11-17
P34二維θxθy向壓電偏轉鏡 1.5/3/6mrad是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件,內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計,外部機械結構通過(guò)內部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現單軸或多軸角度偏轉運動(dòng),補償量小,偏轉鏡具有高的運動(dòng)精度和穩定性,通過(guò)內置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制,實(shí)現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P34二維θxθy向壓電偏轉鏡 1.5/3/6mrad系列壓電偏轉鏡是專(zhuān)為大直徑鏡片而設計,可加載直徑達80mm的鏡片,它的差分驅動(dòng)在較大溫度范圍內表現出出色的角度定位穩定性。P34系列偏轉鏡允許頂部平臺在具有共同樞軸點(diǎn)(并聯(lián)運動(dòng))的兩個(gè)正交軸上進(jìn)行高動(dòng)態(tài)精密偏轉運動(dòng),多種鏡片安裝面可選,以獲得對不同鏡片材料的理想熱適應。開(kāi)環(huán)、閉環(huán)版本可供選擇,所有版本都具有亞微弧度分辨率,且傾斜角度可達6mrad(等于光束偏轉12mrad)。
特性
• θx,θy二維偏轉,偏轉角度6mrad • 閉環(huán)定位精度高 • 分辨率高 • 溫度穩定性高 • 亞毫秒響應時(shí)間
高穩定性、線(xiàn)性度及動(dòng)態(tài)性、使用壽命長(cháng) | 結構原理 | ||
芯明天壓電俯仰/偏轉鏡系統是基于平行運動(dòng)學(xué)設計,兩個(gè)方向偏轉運動(dòng)共用同一個(gè)移動(dòng)面。內部四個(gè)壓電促動(dòng)器是成對的差分控制,決定了平臺俯仰/偏轉運動(dòng)。這使得P34壓電傾斜鏡在較大溫差變化范圍的環(huán)境中具有較好的角度定位穩定性。 內部采用芯明天疊堆型壓電促動(dòng)器可保證可靠性。特殊樹(shù)脂絕緣使其可抵抗環(huán)境濕度及漏電流故障。所以在可靠性及壽命上遠優(yōu)于傳統壓電促動(dòng)器。 | 偏轉鏡(兩軸)是基于4個(gè)壓電陶瓷結構設計而成,每軸采用兩個(gè)壓電陶瓷,以推拉模式形成偏擺運動(dòng),采用橋式連接電路控制。四個(gè)執行機構(壓電促動(dòng)器)以90°角平分放置,是成對的差異控制分布形式。 通過(guò)差分結構的設計可以在大范圍的溫度變化下保持良好的角度穩定性,這樣就可以保證溫度的變化僅能影響到平臺的垂直方向定位,而對角度定位則沒(méi)有影響,在閉環(huán)下,可以保證系統的線(xiàn)性度和分辨率。 |
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