三維壓電宏微復合平臺

本次介紹的就是一款宏微復合跨尺度兩級驅動(dòng)的壓電精密定位臺，它的型號為H81A.XYZ20S/K。它可在XYZ三個(gè)方向產(chǎn)生運動(dòng)，每軸千分尺行程為4mm，壓電行程為18μm。實(shí)物外觀(guān)如下圖所示。

H81A.XYZ20S/K壓電宏微復合平臺的一端具有移動(dòng)臺面，臺面尺寸為60mm×60mm，在移動(dòng)臺面上配有16個(gè)M3的負載安裝孔。該平臺固定于一個(gè)112mm×112mm的底座，在底座上具有8個(gè)φ8mm及3個(gè)φ6.4mm的通孔，以便于該壓電宏微復合平臺的固定安裝。

H81A.XYZ20S/K壓電宏微復合平臺采用了手動(dòng)千分尺調節，該千分尺的行程為4mm，單圈調節為500μm。

該宏微復合平臺的壓電驅動(dòng)部分是由壓電陶瓷來(lái)驅動(dòng)，施加電壓信號來(lái)控制。通過(guò)芯明天壓電控制器對壓電平臺內部壓電陶瓷施加電壓信號，壓電陶瓷產(chǎn)生相應的位移，再由柔性結構傳遞到移動(dòng)臺面，從而使得移動(dòng)臺面產(chǎn)生微納米級的微位移運動(dòng)。

該部分壓電驅動(dòng)的連接是通過(guò)引線(xiàn)及連接器將壓電控制器與壓電宏微復合平臺相連的。該套壓電系統的引線(xiàn)兩端都采用連接器連接。

三維壓電宏微復合平臺 技術(shù)參數

E01.D3系列壓電控制器驅動(dòng)H81A.XYZ20S/K壓電宏微復合平臺的基本參數如下。