產(chǎn)品名稱(chēng)：XYXYZ72壓電宏微復合平臺
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品報價(jià)：
產(chǎn)品特點(diǎn)：XYXYZ72壓電宏微復合平臺，采用壓電粘滑原理與壓電微動(dòng)技術(shù)相結合的方式,滿(mǎn)足XY軸mm級大行程,并且實(shí)現Z軸nm級的高精度。
更新日期：2023-08-28
XYXYZ72壓電宏微復合平臺 產(chǎn)品特點(diǎn)
XY宏動(dòng)毫米行程，適于鏡頭等位置橫向調整
Z向微動(dòng)微米行程，適于光學(xué)聚焦調整
Φ35mm中心通孔，適于透射光應用
技術(shù)參數
| 型號 | XY72N81K13 | XYZ72SN81K13 | XYZ72KN81K13 | 單位 |
| 運動(dòng)自由度 | X Y | X Y Z | X Y Z | |
| XY 宏動(dòng)行程 | ±5 | ±5 | ±5 | mm |
| Z 微調行程 | - | 8@150V | 8@150V | μm |
| XY 最小位移增量 | <30 | <30 | <30 | nm |
| Z 分辨率 | - | 0.3 | 0.1 | nm |
| Z 微調傳感器 | - | SGS | - | |
| Z 線(xiàn)性度 | - | 0.25 | - | %F.S. |
| Z 重復定位精度 | - | 0.25 | - | %F.S. |
| Z 空載諧振頻率 | - | 2.5 | 2.5 | kHz |
| 承載能力 | 1.5 | 正立：500 | 正立：500 | g |
| 側放：200 | 側放：200 | |||
| 中心通孔 | φ35 | φ35 | φ35 | mm |
| 重量 | - | 695 | 695 | g |
| 壓電螺釘連接器 | RJ11 | RJ11 | RJ11 |
XYXYZ72壓電宏微復合平臺
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17051647888
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