納米定位臺具有移動(dòng)面，是通過(guò)帶有柔性鉸鏈的機械結構將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進(jìn)行輸出，分直驅與放大兩種結構。以壓電陶瓷作為驅動(dòng)源，結合柔性鉸鏈機構實(shí)現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動(dòng)的壓電平臺，驅動(dòng)形式包含壓電陶瓷直驅機構式、放大機構式。運動(dòng)范圍可達500μm，具有體積小、無(wú)摩擦、響應速度快等特點(diǎn)。
納米定位臺內部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體化的結構設計。機構放大式驅動(dòng)原理，內置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無(wú)摩擦等特點(diǎn)。
納米定位臺如何滿(mǎn)足納米調節使用？
晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。要求較高的不僅是我們想象的要在豌豆大小的面積上集成上以百萬(wàn)計的電子元器件，另外對于生產(chǎn)好的晶圓進(jìn)行切割（分離）也是一項難題（見(jiàn)下圖），然而切割技術(shù)的不成熟造成了50%以上的浪費，所以提高晶圓切割技術(shù)水平很是必要。
根據納米定位臺的Z軸大量程移動(dòng)范圍，高剛度的保證，微秒級的動(dòng)態(tài)響應時(shí)間，超小的遲滯，穩定工作負載都符合行業(yè)領(lǐng)域指標。
納米定位臺使用新雙傳感器技術(shù)在顯微鏡的物鏡聚焦行業(yè)，擁有精良的動(dòng)態(tài)性能和精度。納米定位平臺提供埃米級的定位精度、超過(guò)100微米的總行程和小于4ms的階躍穩定時(shí)間。
