一維Z向小體積直線(xiàn)壓電平臺
壓電定位臺的控制精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時(shí)間僅為毫秒量級,壓電定位臺為無(wú)磁材質(zhì),使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響,壓電定位臺體積小、結構緊湊易于集成。
特點(diǎn)
• 一維Z向運動(dòng)
• 位移可達100μm
• 體積小巧
• 毫秒級響應時(shí)間
• 真空版本可選
閉環(huán)版本定位精度高 響應速度快
P11.Z100壓電納米定位臺可以選擇開(kāi)環(huán)或閉環(huán)版本,閉環(huán)版本采用高精度傳感器對位置進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測反饋,配置芯明天E00/E01、E52/E53等系列閉環(huán)壓電控制器可實(shí)時(shí)對位移進(jìn)行精密調整,實(shí)現納米級的精密定位控制。
P11.Z100系列壓電納米定位臺的響應速度快,配套E52系列壓電控制器可實(shí)現0.8ms的階躍時(shí)間。
宏微復合機構
P11.Z100配套宏動(dòng)機構,可組成毫米級行程,納米級分辨率的宏微復合機構平臺。
技術(shù)參數
型號:P11.Z100
運動(dòng)自由度:Z
行程范圍(0~120V):80μm
行程范圍(0~150V):100μm
閉環(huán)傳感器類(lèi)型:SGS
閉/開(kāi)環(huán)分辨:7/4nm
閉環(huán)線(xiàn)性度:0.05%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.02%F.S.
俯仰/偏航/滾動(dòng):<10μrad
推/拉力:30/10N
運動(dòng)方向剛度:0.3N/μm
空載諧振頻率:0.3kHz
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間:10/0.8ms
承載能力:0.8kg
靜電容量:1.8μF
材質(zhì):鋼、鋁
重量:100g
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