芯明天放大機構式壓電掃描臺 N12壓電掃描臺為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內部采用無(wú)摩擦的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu) 化結構，具有超高的導向精度、高剛性、大負載、無(wú)磨損等特點(diǎn)，平臺內可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實(shí)現滿(mǎn)行程0.04%的 重復定位精度。《查看更多》

芯明天放大機構式壓電掃描臺 P12壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動(dòng)、1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm，滿(mǎn)足顯微等應用。壓 電掃描臺可以實(shí)現單軸320μm的位移行程，一體式結構使得多維運動(dòng)無(wú)耦合、多種規格型號可選，以滿(mǎn)足不同應用的需求。《查看更多》

芯明天放大機構式壓電掃描臺 P-18壓電掃描臺為1-3維直線(xiàn)掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描，大通光孔徑為Ø35mm，多種位移行程及規格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應用。《查看更多》

芯明天放大機構式壓電掃描臺 XP-780系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動(dòng)，內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動(dòng)，實(shí)現X軸大220μm的 位移，可以配置閉環(huán)傳感實(shí)現高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學(xué)掃描。平臺可以通過(guò)疊加轉接的方式 實(shí)現二維、三維運動(dòng)。《查看更多》

直驅機構式壓電掃描臺 N63壓電掃描臺為二維XY軸掃描平臺，一體式結構設計原理，壓電陶瓷直驅機構，可實(shí)現8μm的掃描范圍，臺體高度僅為17mm，閉環(huán)版本具有超高的定位精度，適用于顯微掃描等應用。《查看更多》

芯明天放大機構式壓電位移臺 P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺為一維Z軸微動(dòng)平臺，它的移動(dòng)范圍可達210µm，定位分辨率可達3nm。$n$nP79平臺可對樣品進(jìn)行Z軸快速精密的聚焦調節，階躍時(shí)間達毫秒量級。主要用于配套宏動(dòng)X(jué)Y軸運動(dòng)掃描平臺或壓電馬達平臺使用，在宏動(dòng)平臺進(jìn)行樣品位置的粗調后，再通過(guò)P79壓電掃描臺進(jìn)行樣品位置的精確調整，定位精度達納米量級。《查看更多》

N65XY芯明天直驅機構式壓電掃描臺，一體式結構設計原理，壓電陶瓷直驅機構，可實(shí)現8μm的掃描范圍，臺體高度僅為17mm，閉環(huán)版本具有超高的定位精度，適用于顯微掃描等應用。《查看更多》

N62芯明天放大機構式壓電納米定位臺，機構放大設計原理，中心通孔孔徑為26mm，可以實(shí)現XY軸±11μm的位移行程，產(chǎn)品體積小巧、結構緊湊易于集成與安裝。非常適易于嵌入其他設備中，用于精密定位與微掃臺。《查看更多》